ASTM F43-99

Estándar No.

ASTM F43-99

Fecha de publicación

1970

Organización

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Ultima versión

ASTM F43-99

Alcance

1.1 La resistividad de un material semiconductor es un requisito importante para la aceptación de materiales. Las determinaciones de resistividad realizadas durante la fabricación del dispositivo también se utilizan ampliamente con fines de control de calidad. 1.2 Estos métodos de prueba 2 cubren dos procedimientos que se utilizan ampliamente para realizar mediciones de rutina. Estos procedimientos se aplican directamente tanto al silicio como al germanio. La aplicación de estos procedimientos a otros materiales semiconductores puede requerir el uso de diferentes materiales y accesorios de sonda. 1.2.1 Método A, dos sondas. Este método de prueba requiere una muestra de barra de sección transversal medible y con dimensiones de sección transversal pequeñas en comparación con la longitud de la barra. Para materiales para los cuales no se ha desarrollado ningún método de referencia ASTM específico, se recomienda este método de prueba para propósitos de aceptación de materiales. 1.2.2 Método B, cuatro sondas. Este método de prueba es rápido y no requiere una muestra de sección transversal regular. Este método de prueba se puede utilizar en muestras de forma irregular, siempre que haya una región plana disponible para las sondas de contacto. Como se describe en esta norma, este método de prueba es aplicable sólo a muestras tales que el espesor de la muestra y la distancia desde cualquier punto de la sonda hasta el borde más cercano sean al menos cuatro veces el espaciado de la sonda (Nota 1). Para el caso especial de muestras de sección transversal circular con un espesor superior a uno, pero inferior a cuatro veces la separación entre sondas, son posibles mediciones mediante este método de prueba; la aplicación requerida de correcciones geométricas aproximadas dará como resultado una precisión mejorada (ver 9.1.3). 1.2.3 En general, las mediciones de resistividad son más confiables cuando se realizan en monocristales, ya que con dicho material las variaciones locales en las impurezas que afectan la resistividad son menos severas. La segregación de impurezas localizada en los límites de los granos en materiales policristalinos puede resultar en grandes variaciones de resistividad. Dichos efectos son comunes a cualquiera de los métodos de prueba de medición, pero son más severos con el método de prueba de cuatro sondas y, por lo tanto, no se recomienda su uso para material policristalino. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F43-99 Documento de referencia

• ASTM F374 
• ASTM F397 Método de prueba estándar para la resistividad de barras de silicio utilizando una sonda de dos puntos*， 1993-10-26 Actualizar
• ASTM F533 Método de prueba estándar para el espesor y la variación del espesor de obleas de silicio*， 1996-10-26 Actualizar
• ASTM F613 
• ASTM F76 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos*， 1986-10-26 Actualizar
• ASTM F84 

ASTM F43-99 Historia

• 1970 ASTM F43-99