ASTM F76-86(2002) Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
Para elegir el material adecuado para producir dispositivos semiconductores, es útil conocer las propiedades del material, como la resistividad, el coeficiente de Hall y la movilidad de Hall. Bajo ciertas condiciones, como se describe en el Apéndice, se pueden inferir otras cantidades útiles para la especificación de materiales, incluida la densidad del portador de carga y la movilidad de deriva. 1.1 Estos métodos de prueba cubren dos procedimientos para medir la resistividad y el coeficiente Hall de muestras de semiconductores monocristalinos. Estos métodos de prueba difieren sustancialmente en los requisitos de la muestra de prueba. 1.1.1 Método de prueba A, van der Pauw (1) -Este método de prueba requiere una muestra de prueba conectada individualmente (sin orificios aislados), homogénea en espesor, pero de forma arbitraria. . Los contactos deben ser suficientemente pequeños y estar ubicados en la periferia de la muestra. La medición se interpreta más fácilmente para un semiconductor isotrópico cuya conducción está dominada por un solo tipo de portador. 1.1.2 Método de prueba B, paralelepípedo o puente 8212; Tipo Este método de prueba requiere una muestra de espesor homogéneo y de forma especificada. Los requisitos de contacto se especifican tanto para la geometría de paralelepípedo como de puente. Estas geometrías de probetas son deseables para semiconductores anisotrópicos cuyos parámetros medidos dependen de la dirección del flujo de corriente. El método de prueba también se interpreta más fácilmente cuando la conducción está dominada por un solo tipo de portador. 1.2 Estos métodos de prueba no proporcionan procedimientos para dar forma, limpiar o contactar muestras; sin embargo, se proporciona un procedimiento para verificar la calidad del contacto. Nota 18212; La práctica F 418 cubre la preparación de muestras de fosfuro de arseniuro de galio. 1.3 El método de la práctica F 418 no proporciona una interpretación de los resultados en términos de propiedades básicas de los semiconductores (por ejemplo, movilidades y densidades de portadores mayoritarios y minoritarios). En el Apéndice se proporciona alguna orientación general, aplicable a ciertos semiconductores y rangos de temperatura. Sin embargo, en su mayor parte, la interpretación se deja al usuario. 1.4 Las pruebas entre laboratorios de estos métodos de prueba (Sección 19) se han realizado sólo en un rango limitado de resistividades y para los semiconductores, germanio, silicio y arseniuro de galio. Sin embargo, el método es aplicable a otros semiconductores siempre que se conozcan la preparación de muestras y los procedimientos de contacto adecuados. El rango de resistividad sobre el cual es aplicable el método está limitado por la geometría del espécimen de prueba y la sensibilidad de la instrumentación. 1.5 Los valores establecidos en unidades métricas aceptables deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. (Ver también 3.1.4.) 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM F76-86(2002) Historia
2016ASTM F76-08(2016)e1 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
2008ASTM F76-08(2016) Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
2008ASTM F76-08 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
1986ASTM F76-86(2002) Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
1986ASTM F76-86(1996)e1 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos