1.1 Este método de prueba cubre la medición del espesor de las obleas de silicio, pulidas o sin pulir, y la estimación de la variación del espesor a lo largo de la oblea. 1.2 Este método de prueba está destinado principalmente para su uso con obleas que cumplan con los requisitos de dimensión y tolerancia de las Especificaciones SEMI M1. Sin embargo, se puede aplicar a obleas circulares de silicio o sustratos de cualquier diámetro y espesor que puedan manipularse sin romperse. 1.3 Este método de prueba es adecuado para equipos de medición con y sin contacto. Se han establecido declaraciones de precisión para cada uno. 1.4 Los valores indicados en unidades pulgada-libra deben considerarse estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.