ASTM F84-99
- Estándar No.
- ASTM F84-99
- Fecha de publicación
- 1970
- Organización
- /
- Estado
- Remplazado por
- ASTM F84-02
- Ultima versión
- ASTM F84-02
- Alcance
- 1.1 Este método de prueba 2 cubre la medición de la resistividad de obleas de silicio con una sonda de cuatro puntos en línea. La resistividad de un cristal de silicio es un requisito importante para la aceptación de materiales. Este método de prueba describe un procedimiento que permitirá comparaciones entre laboratorios de la resistividad a temperatura ambiente de las obleas de silicio. La precisión que se puede esperar depende tanto de la resistividad de la oblea como de la homogeneidad de la oblea. Se han realizado pruebas de operación por turnos para establecer la precisión esperada para las mediciones en obleas tipo p con resistividad a temperatura ambiente (23 °C) entre 0,0008 y 2000 V·cm y en obleas tipo n con temperatura ambiente (23 °C). resistividad entre 0,0008 y 6000 V·cm. 1.2 Este método de prueba está diseñado para usarse en monocristales de silicio en forma de obleas circulares con un diámetro superior a 16 mm (0,625 pulgadas) y un espesor inferior a 1,6 mm (0,0625 pulgadas). Los factores de corrección geométricos necesarios para estas mediciones están disponibles en forma tabulada. 3 1.3 Este método de prueba se utilizará como método de referencia para determinar la resistividad de obleas de silicio monocristalino con preferencia a los métodos de prueba F 43. NOTA 1: el método de prueba también es aplicable a otros materiales semiconductores, pero no a las condiciones apropiadas de medición. ni la precisión esperada se ha determinado experimentalmente. Otras geometrías para las que no se dispone de factores de corrección también se pueden medir mediante este método de prueba, pero en tales situaciones sólo se deben realizar mediciones comparativas utilizando condiciones geométricas similares. NOTA 2: DIN 50431 2 es un método similar, pero no equivalente, para determinar la resistividad. Es equivalente a los Métodos de prueba F 43. 1.4 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores entre paréntesis son sólo para información. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 8.
ASTM F84-99 Documento de referencia
- ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva*， 1999-10-27 Actualizar
- ASTM E1 Especificación estándar para termómetros ASTM*， 1998-10-27 Actualizar
- ASTM E177 Práctica estándar para el uso de los términos precisión y sesgo en los métodos de prueba ASTM*， 1990-10-27 Actualizar
- ASTM F42 Métodos de prueba estándar para el tipo de conductividad de materiales semiconductores extrínsecos*， 1993-10-27 Actualizar
- ASTM F43
- ASTM F613
ASTM F84-99 Historia
- 1970 ASTM F84-02
- 1970 ASTM F84-99
