ASTM F397-93(1999)
Método de prueba estándar para la resistividad de barras de silicio utilizando una sonda de dos puntos

Estándar No.

ASTM F397-93(1999)

Fecha de publicación

1993

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F397-02

Ultima versión

ASTM F397-02

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre la medición de la resistividad de barras monocristalinas que tienen secciones transversales uniformes en área y forma cuadrada, rectangular o redonda, y que tienen una resistividad entre 0,0009 y 3000 ω cm. La resistividad de un cristal de silicio es un requisito de aceptación importante. 1.2 Este método de prueba está diseñado para usarse en monocristales de silicio de tipo n o p para los cuales la uniformidad de la sección transversal del cristal es tal que el área se puede calcular con precisión. El área de la sección transversal de la muestra debe ser constante dentro del +1% del área promedio según lo determinado por mediciones a lo largo del eje del cristal (ver 12.2). 1.3 La relación entre la longitud y la dimensión máxima de la sección transversal de la muestra no debe ser inferior a 3:1 (ver 12.1). El diámetro más grande probado por round robin fue de 3,75 cm (1,5 pulgadas), y este es el diámetro más grande que se puede medir con este método. La muestra normalmente tendrá un acabado superficial de 0,4 µm (16 µpulg.) rms o menos (ver ANSI B46). Se pueden utilizar otros acabados superficiales si son mutuamente aceptables; sin embargo, es posible que las cifras de precisión de múltiples laboratorios de esta prueba (ver 16.1) ya no se apliquen. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 9.

ASTM F397-93(1999) Documento de referencia

• ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva*， 1999-11-10 Actualizar
• ASTM E1 Especificación estándar para termómetros ASTM*， 1998-11-10 Actualizar
• ASTM F42 Métodos de prueba estándar para el tipo de conductividad de materiales semiconductores extrínsecos

ASTM F397-93(1999) Historia

• 1970 ASTM F397-02
• 1993 ASTM F397-93(1999) Método de prueba estándar para la resistividad de barras de silicio utilizando una sonda de dos puntos