ASTM F613-93 normas y especificaciones

Estándar No.: ASTM F613-93
Fecha de publicación: 1970
Organización: /
Ultima versión: ASTM F613-93

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre la medición del diámetro de obleas de silicio de hasta 205 mm de diámetro. También se pueden medir otros materiales semiconductores con forma circular. 1.2 Este método de prueba es independiente del acabado de la superficie y puede realizarse en muestras con bordes contorneados. 1.3 Este método de prueba se llevará a cabo a una temperatura de 23 ± 5 °C. 1.4 Este método de prueba fue desarrollado para su uso con obleas de silicio con diámetros estándar según lo indicado en las Especificaciones SEMI M1, y puede usarse para obleas de otros diámetros o materiales dentro del límite especificado, siempre que haya bloques patrón adecuados disponibles y se utilicen configuraciones planas estándar. 1.5 Este método de prueba está diseñado para usarse como método de referencia. 1.6 La redondez no se mide con este método. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. 1.8 Para obleas de diámetro de 3 pulgadas o menos, los valores indicados en unidades de pulgada-libra deben considerarse estándar; Los valores indicados en unidades métricas aceptables entre paréntesis son solo para información. Para obleas de diámetro superior a 3 pulgadas, los valores indicados en unidades métricas aceptables deben considerarse estándar, aparezcan o no entre paréntesis; Las unidades pulgada-libra son solo para información.

ASTM F613-93 Documento de referencia

ASTM E1 Especificación estándar para termómetros ASTM*， 1998-10-26 Actualizar

ASTM F613-93 Historia

1970 ASTM F613-93