ASTM F1708-96
Práctica estándar para la evaluación de polisilicio granular mediante espectroscopías Meter-Zoner

Estándar No.
ASTM F1708-96
Fecha de publicación
1996
Organización
American Society for Testing and Materials (ASTM)
Estado
Remplazado por
ASTM F1708-02
Ultima versión
ASTM F1708-02
Alcance
1.1 Esta práctica describe un procedimiento para consolidar polisilicio granular en una varilla sólida y luego convertir la varilla de polisilicio en un monocristal mediante una técnica de zona de flotación. El lingote monocristalino resultante se utiliza para la determinación de trazas de impurezas en el polisilicio. Estas impurezas son componentes aceptores y donantes (generalmente boro, aluminio, fósforo, arsénico y antimonio), así como carbono sustitutivo.1.2 El rango útil de concentración de impurezas cubierto por esta práctica es de 0,002 a 100 partes por mil millones atómicos (ppba) para el aceptor. e impurezas del donante, y de 0,03 a 5 partes por millón atómico (ppma) para el carbono. Las impurezas aceptoras y donadoras se analizan en una porción extraída del lingote monocristal mediante fotoluminiscencia o espectroscopía infrarroja. La impureza de carbono se determina mediante el análisis de una porción mediante espectroscopia infrarroja.1.3 Esta práctica se aplica únicamente a la evaluación de gránulos de polisilicio producidos por deposición térmica de silano, o uno de los clorosilanos, sobre semillas de polisilicio de alta pureza en un lecho fluido continuo. reactor. Los gránulos tienen una forma casi esférica y su tamaño varía entre 200 y 2500 956 m, con un tamaño medio de aproximadamente 900 956 m.1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. . Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 9 y en 12.1.1.

ASTM F1708-96 Documento de referencia

ASTM F1708-96 Historia

  • 1970 ASTM F1708-02
  • 1996 ASTM F1708-96 Práctica estándar para la evaluación de polisilicio granular mediante espectroscopías Meter-Zoner


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