ASTM F1391-93(2000)

Estándar No.

ASTM F1391-93(2000)

Fecha de publicación

1970

Organización

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Ultima versión

ASTM F1391-93(2000)

Alcance

1.1 Este método de prueba de árbitro 2 cubre la determinación de la concentración de carbono sustitucional en silicio monocristalino. Debido a que el carbono también puede residir en posiciones de la red intersticial, cuando se encuentra en concentraciones cercanas al límite de solubilidad sólida, los resultados de este método de prueba pueden no ser una medida de la concentración total de carbono. 1.2 El rango útil de concentración de carbono medible mediante este método de prueba es desde la cantidad máxima de carbono sustitucional soluble en silicio hasta aproximadamente 0,1 partes por millón atómico (ppma), es decir, 5 3 10 15 cm-3 para mediciones a temperatura ambiente. , y hasta aproximadamente 0,01 ppma, es decir, 0,5 · 1015 cm −3 a temperaturas criogénicas (por debajo de 80 K). 1.3 Este método de prueba utiliza la relación entre la concentración de carbono y el coeficiente de absorción de la banda de absorción infrarroja asociada con el carbono sustitucional en el silicio. A temperatura ambiente (aproximadamente 300 K), el pico de la banda de absorción está en 605 cm-1 o 16,53 µm. A temperaturas criogénicas (por debajo de 80 K), el pico de la banda de absorción está en 607,5 cm-1 o 16,46 µm. 1.4 Este método de prueba es aplicable a rebanadas de silicio con resistividad superior a 3 V-cm para el tipo p y superior a 1 V-cm para el tipo n. Las rodajas pueden tener cualquier orientación cristalográfica y deben pulirse en ambas superficies. 1.5 Este método de prueba está diseñado para usarse con espectrofotómetros infrarrojos que están equipados para operar en la región de 2000 a 500 cm-1 (5 a 20 µm). 1.6 Este método de prueba proporciona secciones de procedimiento y cálculo para los casos en los que los valores de espesor de las muestras de prueba y de referencia coinciden estrechamente o no. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1391-93(2000) Documento de referencia

• ASTM E131 Definiciones estándar de términos y símbolos relacionados con la espectroscopia molecular*， 1981-10-26 Actualizar
• ASTM F1241 

ASTM F1391-93(2000) Historia

• 1970 ASTM F1391-93(2000)