ASTM F1389-00

Estándar No.

ASTM F1389-00

Fecha de publicación

1970

Organización

/

Ultima versión

ASTM F1389-00

Alcance

1.1 Estos métodos de prueba cubren la determinación simultánea del contenido de boro, fósforo, arsénico y aluminio eléctricamente activos en silicio monocristalino de baja dislocación. Estas especies químicas también pueden determinarse mediante el procedimiento del Método de prueba F 1630. 1.2 Estos métodos de prueba pueden usarse para muestras que tienen densidades de dopante mayoritario entre aproximadamente 1 3 10 11 y 5 3 1015 átomos/cm3. 1.3 Las concentraciones obtenidas utilizando estos métodos de prueba se basan en una relación determinada empíricamente del logaritmo de la concentración al logaritmo de relaciones específicas de intensidad de línea de luminiscencia. 1.4 La relación empírica establecida supone un nivel de excitación de muestra constante para todas las mediciones en un instrumento determinado. 1.5 Para dar cabida a las diferencias en la instrumentación, en esta propuesta se incluyen dos métodos. El “Método de prueba A” se refiere a los procedimientos apropiados para espectrofotómetros infrarrojos dispersivos que operan en condiciones de alta excitación de la muestra y el “Método de prueba B” se refiere a los procedimientos apropiados para instrumentos de transformada de Fourier que operan en condiciones de baja excitación. 1.5.1 Se proporcionan curvas de calibración típicas para cada método de prueba. Estas curvas se modifican para cada instrumento utilizando el análisis de muestras estándar como datos de referencia. Una vez modificadas, las curvas de un instrumento determinado deben producir valores de densidad de dopante de muestra que concuerden con otros instrumentos operados de manera similar que utilizan el mismo método de prueba. Los datos obtenidos utilizando el Método de prueba A pueden no coincidir con los datos obtenidos utilizando el Método de prueba B, por lo que los valores deben informarse con referencia al método de prueba utilizado. 1.6 Muchos laboratorios utilizan la fotoluminiscencia para analizar las capas epitaxiales. Sin embargo, esta aplicación encuentra muchas variables y la física subyacente no se comprende completamente; por lo tanto, estos métodos de prueba no intentan delinear prácticas estándar con respecto a dicho análisis. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1389-00 Documento de referencia

• ASTM F1630 
• ASTM F1723 Práctica estándar para la evaluación de varillas de silicio policristalino mediante espectroscopía y crecimiento de cristales de zona flotante*， 1996-10-26 Actualizar
• ASTM F416 
• ASTM F723 

ASTM F1389-00 Historia

• 1970 ASTM F1389-00