ASTM F1241-95(2000) normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Esta terminología cubre términos y definiciones utilizados en relación con obleas y cristales de silicio de grado semiconductor. 1.2 Esta terminología cubre términos que describen los atributos de las obleas de silicio como se especifica en las Especificaciones SEMI M1 y el Formato SEMI M18. Estos atributos incluyen características eléctricas, estructurales, químicas y mecánicas de las obleas pulidas y epitaxiales, así como defectos superficiales y contaminación. 1.3 Esta terminología es aplicable para su uso en relación con la investigación, el desarrollo, el control de procesos, la adquisición y la inspección de material de silicio. 1.4 Originalmente, los términos y definiciones incluidos en esta norma se extrajeron de otras normas ASTM relacionadas con la tecnología del silicio. Los estándares fuente originales para dichos términos se identifican por sus designaciones inmediatamente después de la definición. Todas estas normas se encuentran en este volumen del Libro Anual de Normas ASTM. Más recientemente, se han votado directamente términos y definiciones nuevos o revisados para su inclusión en esta norma; estos términos no tienen designación después de la definición. 1.5 Casi todos los términos enumerados son sustantivos; en otros casos, la parte del discurso se da explícitamente inmediatamente después del término.

ASTM F1241-95(2000) Historia