ASTM F1239-02 normas y especificaciones

Estándar No.: ASTM F1239-02
Fecha de publicación: 1970
Organización: /
Ultima versión: ASTM F1239-02

Alcance: 1.1 Estos métodos de prueba cubren procedimientos complementarios para probar las características de precipitación de oxígeno de las obleas de silicio. Se supone que las características de la precipitación están relacionadas con la cantidad de oxígeno intersticial perdido durante ciclos térmicos específicos. 1.2 Estos métodos de prueba se pueden utilizar para comparar cualitativamente las características de precipitación de dos o más grupos de obleas. 1.3 Estos métodos de prueba se pueden aplicar a cualquier oblea de silicio Czochralski de cualquier orientación y tipo p, cuyo espesor, resistividad y acabado superficial sean tales que permitan determinar la concentración de oxígeno mediante absorción infrarroja y cuya concentración de oxígeno sea tal que produzca Pérdida de oxígeno medible. 1.4 Estos métodos de prueba no son adecuados para determinar el ancho o las características de una "zona desnuda", una región cerca de la superficie de una oblea que está esencialmente libre de precipitados de óxido. 1.5 Debido a que estos métodos de prueba son destructivos, se deben emplear técnicas de muestreo adecuadas. 1.6 Los valores indicados en unidades SI se consideran estándar. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 8.

ASTM F1239-02 Documento de referencia

ASTM C28 Especificación estándar para revoques de yeso*， 1980-10-26 Actualizar
ASTM D5127 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores*， 1999-10-26 Actualizar
ASTM F1188
ASTM F1619 Método de prueba estándar para medir el contenido de oxígeno intersticial de obleas de silicio mediante espectroscopia de absorción infrarroja con radiación p-polarizada incidente en el ángulo de Brewster*， 1995-10-26 Actualizar
ASTM F951 Método de prueba estándar para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en obleas de silicio*， 2002-01-10 Actualizar

ASTM F1239-02 Historia

1970 ASTM F1239-02
1994 ASTM F1239-94 Métodos de prueba estándar para la caracterización de la precipitación de oxígeno de obleas de silicio mediante la medición de la reducción de oxígeno intersticial