ASTM F1188-02 normas y especificaciones

Estándar No.: ASTM F1188-02
Fecha de publicación: 1970
Organización: /
Ultima versión: ASTM F1188-02

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre la determinación del contenido de oxígeno intersticial del silicio monocristalino mediante la medición de una banda de absorción infrarroja a temperatura ambiente. Este método de prueba requiere el uso de una muestra de referencia libre de oxígeno. Se recomienda utilizar un material de referencia, como NIST SRM4 2551,5 otro material de referencia certificado para el contenido de oxígeno del silicio,7 o materiales de referencia trazables a los CRM, para calibrar el espectrofotómetro a fin de reducir el sesgo. 1.2 Este método de prueba requiere el uso de un espectrofotómetro computarizado, preferiblemente un espectrofotómetro FT-IR. Este método está incorporado en muchos instrumentos FT-IR modernos. 1.3 El rango útil de concentración de oxígeno medible mediante este método de prueba es de 1 3 1016 átomos/cm3 hasta la cantidad máxima de oxígeno intersticial soluble en silicio. 1.4 Si el espectrofotómetro se calibra utilizando CRM pulidos de doble cara de 2 mm de espesor, este método de prueba es adecuado para usar solo con especímenes de prueba pulidos de doble cara de 2 mm de espesor. Puede ampliarse a la medición de probetas pulidas en uno o ambos lados con un espesor en el rango de 0,4 a 4 mm con el uso de materiales de referencia de trabajo trazables a los CRM. 1.5 La concentración de oxígeno obtenida utilizando este método de prueba supone una relación lineal entre la concentración de oxígeno intersticial y el coeficiente de absorción de la banda de 1107 cm-1 asociada con el oxígeno intersticial en silicio. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1188-02 Documento de referencia

ASTM E1 Especificación estándar para termómetros ASTM*， 1998-10-26 Actualizar
ASTM E131 Definiciones estándar de términos y símbolos relacionados con la espectroscopia molecular*， 1981-10-26 Actualizar
ASTM E932 Práctica estándar para describir y medir el rendimiento de espectrómetros infrarrojos dispersivos*， 2021-04-01 Actualizar
ASTM F121

ASTM F1188-02 Historia

1970 ASTM F1188-02
2000 ASTM F1188-00 Método de prueba estándar para el contenido de oxígeno atómico intersticial del silicio mediante absorción infrarroja