ASTM F1239-94
Métodos de prueba estándar para la caracterización de la precipitación de oxígeno de obleas de silicio mediante la medición de la reducción de oxígeno intersticial

Estándar No.

ASTM F1239-94

Fecha de publicación

1994

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1239-02

Ultima versión

ASTM F1239-02

Alcance

1.1 Estos métodos de prueba cubren procedimientos complementarios para probar las características de precipitación de oxígeno de las obleas de silicio. Se supone que las características de la precipitación están relacionadas con la cantidad de oxígeno intersticial perdido durante ciclos térmicos específicos. 1.2 Estos métodos de prueba se pueden utilizar para comparar cualitativamente las características de precipitación de dos o más grupos de obleas. 1.3 Estos métodos de prueba pueden aplicarse a cualquier o tipo, obleas de silicio Czochralski de cualquier orientación cuyo espesor, resistividad y acabado superficial sean tales que permitan determinar la concentración de oxígeno mediante absorción infrarroja y cuya concentración de oxígeno sea tal que produzca Pérdida de oxígeno medible. 1.4 Estos métodos de prueba no son adecuados para determinar el ancho o las características de una "zona desnuda", una región cerca de la superficie de una oblea que está esencialmente libre de precipitados de óxido. 1.5 Debido a que estos métodos de prueba son destructivos, se deben emplear técnicas de muestreo adecuadas. 1.6 Los valores indicados en unidades SI se consideran estándar. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las declaraciones de peligro específicas se dan en la Sección 8.

ASTM F1239-94 Documento de referencia

• ASTM D1193 Especificación estándar para agua reactiva*， 1999-11-10 Actualizar
• ASTM F1188 
• ASTM F416 
• ASTM F612 
• ASTM F951 Método de prueba estándar para la determinación de la variación radial del oxígeno intersticial en obleas de silicio*， 2002-01-10 Actualizar

ASTM F1239-94 Historia

• 1970 ASTM F1239-02
• 1994 ASTM F1239-94 Métodos de prueba estándar para la caracterización de la precipitación de oxígeno de obleas de silicio mediante la medición de la reducción de oxígeno intersticial