ASTM F398-92(1997) Método de prueba estándar para la concentración de portadores mayoritarios en semiconductores mediante la medición del número de onda o la longitud de onda de la resonancia mínima del plasma normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre la determinación del número de onda del mínimo de resonancia del plasma en la reflectancia infrarroja de una muestra de semiconductor dopado, a partir del cual se puede obtener la concentración de portador mayoritario. 1.2 Este método de prueba para determinar el número de onda mínimo no es destructivo y no requiere contacto. Es aplicable al silicio tipo nand p, al arseniuro de galio tipo nand p y al germanio tipo n. 1.3 Este método de prueba proporciona una medición relativa en el sentido de que la relación entre el número de onda del mínimo de resonancia del plasma y la concentración de portador mayoritario es empírica. Estas relaciones se han establecido para los diversos casos resumidos en el Anexo A1. Estas relaciones se basan en determinaciones del mínimo de resonancia del plasma mediante el procedimiento de este método y determinaciones del coeficiente de Hall según los métodos de prueba F 76 (Sección 2) o la resistividad según los métodos de prueba F 43 o el método de prueba F 84 (Sección 2). según sea apropiado. 1.4 Estas relaciones se han establecido en un rango de concentración de portadores mayoritarios de 1,5 3 10 18 a 1,5 3 1021 cm −3 para el silicio tipo n, de 3 3 10 18 a 5 3 1020 para el silicio tipo p, de 3 3 1018 a 7 3 10 19 para el germanio tipo n, de 1,5 3 10 17 a 1 3 1019 para el arseniuro de galio tipo n, y de

ASTM F398-92(1997) Documento de referencia

ASTM E275 Práctica estándar para describir y medir el rendimiento de espectrofotómetros ultravioleta, visible e infrarrojo cercano
ASTM F42 Métodos de prueba estándar para el tipo de conductividad de materiales semiconductores extrínsecos
ASTM F43
ASTM F76 Métodos de prueba estándar para medir la resistividad y el coeficiente Hall y determinar la movilidad Hall en semiconductores monocristalinos
ASTM F84

1970 ASTM F398-92(2002)
1997 ASTM F398-92(1997) Método de prueba estándar para la concentración de portadores mayoritarios en semiconductores mediante la medición del número de onda o la longitud de onda de la resonancia mínima del plasma