ISO 16700:2016 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica un método para calibrar la ampliación de imágenes generadas por un microscopio electrónico de barrido (SEM) utilizando un material de referencia apropiado. Este método se limita a aumentos determinados por el rango de tamaño disponible de las estructuras en el material de referencia de calibración. Esta norma internacional no se aplica al SEM dedicado a la medición de dimensiones críticas.

ISO 16700:2016 Documento de referencia

ISO 5725-1:1994 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 1: Principios generales y definiciones.
ISO GUIDE 30:2015 Materiales de referencia: términos y definiciones seleccionados
ISO GUIDE 34:2009 Requisitos generales para la competencia de los productores de materiales de referencia.
ISO GUIDE 35:2006 Materiales de referencia - Principios generales y estadísticos para la certificación.
ISO/IEC 17025:2005 Requisitos generales para la competencia de los laboratorios de ensayo y calibración.
ISO/IEC GUIDE 98-3:2008 Incertidumbre de medición. Parte 3: Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995)

2016 ISO 16700:2016 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes
2004 ISO 16700:2004 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes