ISO 16700:2004 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica un método para calibrar la ampliación de imágenes generadas por un microscopio electrónico de barrido (SEM) utilizando un material de referencia apropiado. Este método se limita a aumentos determinados por el rango de tamaño disponible de las estructuras en el material de referencia de calibración. Esta norma internacional no se aplica al SEM dedicado a la medición de dimensiones críticas.

ISO 16700:2004 Documento de referencia

ISO 5725-1:1994 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 1: Principios generales y definiciones.
ISO Guide 30:1992 Términos y definiciones utilizados en relación con materiales de referencia.
ISO Guide 34:1996 Directrices del sistema de calidad para la producción de materiales de referencia.
ISO Guide 35:1989 Certification of reference materials - General and statistical principles
ISO/IEC 17025:1999 Requisitos generales para la competencia de los laboratorios de ensayo y calibración.

2016 ISO 16700:2016 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes
2004 ISO 16700:2004 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Directrices para calibrar la ampliación de imágenes