ASTM E1127-08(2015) normas y especificaciones

Alcance: La espectroscopía electrónica 5.1 Auger proporciona información sobre el estado químico y físico de una superficie sólida en la región cercana a la superficie. El perfilado de profundidad no destructivo se limita a esta región cercana a la superficie. Las técnicas para medir las profundidades de los cráteres y el espesor de la película se dan en (1).5 5.2 La pulverización catódica de iones se utiliza principalmente para profundidades inferiores al orden de 1 μm. 5.3 El traslapado en ángulo o la formación de cráteres mecánicos se utiliza principalmente para profundidades superiores al orden de 1 μm. 5.4 La elección de los métodos de perfilado de profundidad para investigar una interfaz depende de la rugosidad de la superficie, la rugosidad de la interfaz y el espesor de la película (2). 5.5 Los anchos de la interfaz del perfil de profundidad se pueden medir utilizando una función logística que se describe en la Práctica E1636. 1.1 Esta guía cubre los procedimientos utilizados para la creación de perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica Auger. 1.2 Las pautas para el perfilado de profundidad se dan a continuación: &# Sección de pulverización iónica&# Lapeado y corte transversal de 6 ángulos 7 cráteres mecánicos 8 Método de réplica de malla 9 Perfilado de profundidad no destructivo 10 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse estándar. No hay otras unidades de medida......

ASTM E1127-08(2015) Documento de referencia

ASTM E1078 Guía estándar de procedimientos para la preparación y montaje de muestras en análisis de superficies
ASTM E1577 Guía estándar para la generación de informes de los parámetros del haz de iones utilizados en el análisis de superficies
ASTM E1634 Guía estándar para realizar mediciones de profundidad de cráteres de pulverización catódica
ASTM E1636 Práctica estándar para describir analíticamente datos de interfaz de perfil de profundidad de pulverización mediante una función logística extendida
ASTM E1829 Guía estándar para el manejo de muestras antes del análisis de superficie
ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
ASTM E684 Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas
ASTM E827 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger
ASTM E996 Práctica estándar para informar datos en espectroscopia de electrones de Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X

2008 ASTM E1127-08(2015)
2008 ASTM E1127-08 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
2003 ASTM E1127-03 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
1991 ASTM E1127-91(1997) Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger