ASTM E1127-03 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger normas y especificaciones

Alcance: La espectroscopia de electrones Auger proporciona información sobre el estado químico y físico de una superficie sólida en la región cercana a la superficie. El perfilado de profundidad no destructivo se limita a esta región cercana a la superficie. En (35) se dan técnicas para medir la profundidad de los cráteres y el espesor de la película. La pulverización iónica se utiliza principalmente para profundidades inferiores al orden de 1 μm. El lapeado angular o la formación de cráteres mecánicos se utiliza principalmente para profundidades superiores al orden de 1 μm. La elección de los métodos de perfilado de profundidad para investigar una interfaz depende de la rugosidad de la superficie, la rugosidad de la interfaz y el espesor de la película (1).3 1.1 Esta guía cubre los procedimientos utilizados para el perfilado de profundidad en espectroscopía electrónica Auger.1.2 Las pautas para el perfilado de profundidad se dan a continuación :Sección Sputtering de iones 6 Lapeado y sección transversal en ángulo 7 Formación de cráteres mecánicos 8 Perfilado de profundidad no destructivo 91.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E1127-03 Documento de referencia

ASTM E1634 Guía estándar para realizar mediciones de profundidad de cráteres de pulverización catódica
ASTM E673 Terminología estándar relacionada con el análisis de superficies
ASTM E684 Práctica estándar para la determinación aproximada de la densidad de corriente de haces de iones de gran diámetro para el perfilado de profundidad de pulverización catódica de superficies sólidas
ASTM E827 Práctica estándar para identificar elementos por los picos en espectroscopía electrónica Auger

2008 ASTM E1127-08(2015)
2008 ASTM E1127-08 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
2003 ASTM E1127-03 Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger
1991 ASTM E1127-91(1997) Guía estándar para perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica de Auger