1.1 Esta guía cubre los procedimientos utilizados para la creación de perfiles de profundidad en espectroscopía electrónica Auger. 1.2 Se dan pautas para el perfilado en profundidad a través de lo siguiente: Sección Sputtering iónico 6 Lapeado angular y sección transversal 7 Formación de cráteres mecánicos 8 Perfilado en profundidad no destructivo 9 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso . Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.