ASTM F1366-92(1997)e1
Método de prueba estándar para medir la concentración de oxígeno en sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios

Estándar No.

ASTM F1366-92(1997)e1

Fecha de publicación

1992

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM F1366-92(2002)

Ultima versión

ASTM F1366-92(2002)

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre la determinación de la concentración total de oxígeno en la mayor parte de sustratos de silicio monocristalino mediante espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS). 1.2 Este método de prueba se puede utilizar para silicio en el que las concentraciones de dopante son inferiores al 0,2% (1 x 1020 átomos/cm) para boro, antimonio, arsénico y fósforo. Este método de prueba es especialmente aplicable para silicio que tiene una resistividad entre 0,0012 y 1,0 ?cm para el silicio de tipo y entre 0,008 y 0,2 ?cm para el silicio de tipo. 1.3 Este método de prueba se puede utilizar para silicio en el que el contenido de oxígeno es mayor que el fondo de oxígeno instrumental SIMS medido en una muestra de silicio de zona de flotación, pero el método de prueba tiene una precisión útil, especialmente cuando el contenido de oxígeno es mucho mayor (aproximadamente 10 veces a 20X) que el fondo de oxígeno medido en el silicio de la zona de flotación. 1.4 Este método de prueba es complementario a la espectroscopía de absorción infrarroja que se puede utilizar para la medición de oxígeno intersticial en silicio que tiene una resistividad superior a 1,0 ?-cm para el silicio tipo y superior a 0,1 ?-cm para el silicio tipo (ver Método de prueba F1188). La medición de la absorción infrarroja se puede ampliar hasta entre 0,02 y 0,1 \omega cm para silicio de tipo con pequeños cambios en el procedimiento de medición. 1.5 En principio, se pueden utilizar diferentes superficies de muestra, pero la estimación de precisión se tomó de datos sobre superficies pulidas químico-mecánicas. 1.6 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM F1366-92(1997)e1 Documento de referencia

• ASTM E122 Práctica estándar para calcular el tamaño de la muestra para estimar, con un error tolerable especificado, el promedio de la característica de un lote o proceso*， 2000-10-10 Actualizar
• ASTM F1188 
• ASTM F43 
• ASTM F723 

ASTM F1366-92(1997)e1 Historia

• 1970 ASTM F1366-92(2002)
• 1992 ASTM F1366-92(1997)e1 Método de prueba estándar para medir la concentración de oxígeno en sustratos de silicio fuertemente dopados mediante espectrometría de masas de iones secundarios