GB/T 11073-2007
Método estándar para medir la variación de la resistividad radial en rodajas de silicio (Versión en inglés)

Estándar No.

GB/T 11073-2007

Idiomas

Chino, Disponible en inglés

Fecha de publicación

2007

Organización

General Administration of Quality Supervision, Inspection and Quarantine of the People‘s Republic of China

Ultima versión

GB/T 11073-2007

Reemplazar

GB/T 11073-1989

Alcance

Esta norma especifica el método para medir el cambio de resistividad radial de una oblea única de silicio mediante el método de cuatro sondas en línea. Esta norma se aplica a la medición del cambio de resistividad radial de obleas individuales de silicio con un espesor menor que el espaciado promedio entre sondas, un diámetro superior a 15 mm y una resistividad de 1X10¯³Ω·cm~3×10³Ω·cm.

GB/T 11073-2007 Documento de referencia

• GB/T 12965 Silicio monocristalino en forma de obleas cortadas y obleas lapeadas*， 2018-09-17 Actualizar
• GB/T 1552 Método de prueba para medir la resistividad de silicio monocristalino y germanio con una matriz colineal de cuatro sondas
• GB/T 2828 Procedimiento de muestreo de conteo de inspección lote por lote y tabla de muestreo (aplicable a la inspección continua de lotes)
• GB/T 6618-1995 

GB/T 11073-2007 Historia

• 2007 GB/T 11073-2007 Método estándar para medir la variación de la resistividad radial en rodajas de silicio
• 1989 GB/T 11073-1989