Esta norma especifica los métodos de medición de punto discreto y escaneo para el espesor y la variación del espesor total de obleas de silicio monocristal cortadas, molidas y pulidas (obleas de silicio para abreviar).
GB/T 6618-1995 Historia
2009GB/T 6618-2009 Método de prueba para el espesor y la variación del espesor total de rodajas de silicio.