Esta norma especifica el método para medir el cambio de resistividad radial de una oblea única de silicio mediante el método de cuatro sondas en línea. Esta norma se aplica a las obleas de silicio cuyo espesor es menor que la distancia promedio entre las sondas, cuyo diámetro es mayor a 15 mm y cuya resistividad es 1×10-3~1×103Ω.Cm resistividad radial de una sola oblea de silicio Medición del cambio .
GB/T 11073-1989 Historia
2007GB/T 11073-2007 Método estándar para medir la variación de la resistividad radial en rodajas de silicio