ASTM F419-94
- Estándar No.
- ASTM F419-94
- Fecha de publicación
- 1970
- Organización
- /
- Ultima versión
- ASTM F419-94
- Alcance
- 1.1 Este método de prueba cubre la medición de la densidad del portador en capas epitaxiales de silicio. La precisión que se puede esperar depende de las heterogeneidades de la densidad de portadores paralelas y perpendiculares a la unión y del nivel de densidad de portadores. 1.2 La medición requiere la formación de diodos Schottky o de unión pn sobre o dentro de la capa epitaxial. En este sentido el método es destructivo (ver, sin embargo, 5.2). 1.3 Tanto las capas epitaxiales de tipo n como las de tipo p se pueden evaluar, sobre sustratos del mismo tipo o de tipos opuestos, si el espesor de la capa es mayor que el doble del ancho de empobrecimiento de polarización cero más, solo para diodos difundidos, la profundidad de la unión (1). 2 Este método de prueba también es aplicable al material a granel. 1.4 Este método de prueba cubre el rango de densidad de portadores de aproximadamente 4 3 1013 a aproximadamente 8 3 10 16 portadores/cm3 (rango de resistividad de aproximadamente 0,1 a aproximadamente 100 V·cm en obleas tipo n y de aproximadamente 0,24 a aproximadamente 330 V·cm en obleas tipo p). 1.5 Este método de prueba incluye procedimientos para verificar equipos de medición de capacitancia y voltaje. 1.6 Este método de prueba proporciona dos medios para calcular la densidad de portadora a partir de datos de voltaje de capacitancia: un método incremental (12.3.1) y un método de ajuste de curvas (12.3.2). NOTA 1: en el Método de prueba F 1392 se proporciona un método alternativo para determinar la densidad del portador en capas epitaxiales. Este y un método relacionado, DIN 50 439, utilizan un contacto de barrera Schottky con sonda de mercurio en lugar de una unión pn fabricada o un diodo Schottky. Por lo tanto, las mediciones realizadas con el método de prueba F 1392 y DIN 50 439 pueden no ser completamente comparables con las realizadas con este método de prueba. La norma DIN 50 439 también es aplicable al arseniuro de galio y al silicio. 1.7 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. Las indicaciones de peligro específicas se dan en 11.8 y 11.14.
ASTM F419-94 Documento de referencia
ASTM F419-94 Historia
- 1970 ASTM F419-94
