ISO 15632:2021 Análisis de microhaces: parámetros de rendimiento instrumental seleccionados para la especificación y verificación de espectrómetros de rayos X de dispersión de energía (EDS) para su uso con un microscopio electrónico de barrido (SEM) o un microanalizador de sonda electrónica (EPMA). normas y especificaciones

Alcance: Este documento define las cantidades más importantes que caracterizan a un espectrómetro de rayos X de energía dispersiva compuesto por un detector semiconductor, un preamplificador y una unidad de procesamiento de señales como partes esenciales. Este documento sólo es aplicable a espectrómetros con detectores semiconductores que funcionan según el principio de ionización de estado sólido. Este documento especifica los requisitos mínimos y la relevancia que deben verificar los parámetros de rendimiento instrumental para dichos espectrómetros conectados a un microscopio electrónico de barrido (SEM) o un microanalizador de sonda electrónica (EPMA). El procedimiento utilizado para el análisis real se describe en ISO 22309[2] y ASTM E1508[3] y está fuera del alcance de este documento.

ISO 15632:2021 Documento de referencia

ISO 22493 Análisis de microhaces - Microscopía electrónica de barrido - Vocabulario
ISO 23833 Análisis de microhaces - Microanálisis con sonda electrónica (EPMA) - Vocabulario

2021 ISO 15632:2021 Análisis de microhaces: parámetros de rendimiento instrumental seleccionados para la especificación y verificación de espectrómetros de rayos X de dispersión de energía (EDS) para su uso con un microscopio electrónico de barrido (SEM) o un microanalizador de sonda electrónica (EPMA).
2012 ISO 15632:2012 Análisis de microhaces: parámetros de rendimiento instrumental seleccionados para la especificación y verificación de espectrómetros de rayos X de energía dispersiva para su uso en microanálisis con sonda electrónica
2002 ISO 15632:2002 Análisis de microhaces: especificación instrumental para espectrómetros de rayos X de energía dispersiva con detectores de semiconductores