ISO 15632:2002 Análisis de microhaces: especificación instrumental para espectrómetros de rayos X de energía dispersiva con detectores de semiconductores
Esta norma especifica las cantidades más importantes que caracterizan las características de los espectrómetros de energía de rayos X (EDS), que están compuestos básicamente por detectores semiconductores, preamplificadores y sistemas de procesamiento de señales. Esta norma sólo se aplica a los detectores semiconductores EDS basados en el principio de ionización de estado sólido. Esta norma solo estipula los requisitos mínimos para EDS, como la sonda electrónica (EPMA) o el microscopio electrónico de barrido (SEM). La forma de implementar el análisis no está dentro del alcance de esta norma.
ISO 15632:2002 Historia
2021ISO 15632:2021 Análisis de microhaces: parámetros de rendimiento instrumental seleccionados para la especificación y verificación de espectrómetros de rayos X de dispersión de energía (EDS) para su uso con un microscopio electrónico de barrido (SEM) o un microanalizador de sonda electrónica (EPMA).
2012ISO 15632:2012 Análisis de microhaces: parámetros de rendimiento instrumental seleccionados para la especificación y verificación de espectrómetros de rayos X de energía dispersiva para su uso en microanálisis con sonda electrónica
2002ISO 15632:2002 Análisis de microhaces: especificación instrumental para espectrómetros de rayos X de energía dispersiva con detectores de semiconductores