ISO 14707:2021 Análisis químico de superficies - Espectrometría de emisión óptica de descarga luminiscente (GD-OES) - Introducción al uso normas y especificaciones

Alcance: Este documento proporciona pautas que son aplicables a los análisis GD-OES de perfiles masivos y de profundidad. Las pautas discutidas aquí se limitan al análisis de sólidos rígidos y no cubren el análisis de polvos, gases o soluciones. Combinadas con métodos estándar específicos que están disponibles ahora y en el futuro, estas directrices pretenden permitir la regulación de instrumentos y el control de las condiciones de medición. Aunque a lo largo de los años se han desarrollado varios tipos de fuentes de emisión óptica de descarga luminiscente, el tipo Grimm con un ánodo hueco representa una gran mayoría de los dispositivos de emisión óptica de descarga luminiscente actualmente en uso tanto para fuentes de CC como de RF. Sin embargo, el contacto del cátodo suele estar situado en la parte posterior de la muestra, por ejemplo en la fuente tipo Marcus, en lugar de en la parte delantera como en el diseño original de Grimm. Las pautas contenidas en este documento son igualmente aplicables a ambos y otros diseños de fuente y la fuente tipo Grimm se utiliza sólo como ejemplo.

ISO 14707:2021 Documento de referencia

ISO 3497 Recubrimientos metálicos - Medición del espesor del recubrimiento - Métodos espectrométricos de rayos X
ISO 5725-1 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 1: Principios generales y definiciones.*， 2023-07-01 Actualizar
ISO 5725-2 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 2: Método básico para la determinación de la repetibilidad y reproducibilidad de un método de medición estándar.
ISO 5725-3 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 3: Precisión intermedia y diseños alternativos para estudios colaborativos.*， 2023-06-01 Actualizar
ISO 5725-4 Exactitud (veracidad y precisión) de los métodos y resultados de medición. Parte 4: Métodos básicos para determinar la veracidad de un método de medición estándar.

2021 ISO 14707:2021 Análisis químico de superficies - Espectrometría de emisión óptica de descarga luminiscente (GD-OES) - Introducción al uso
2015 ISO 14707:2015 Análisis químico de superficies - Espectrometría de emisión óptica de descarga luminiscente (GD-OES) - Introducción al uso
2000 ISO 14707:2000 Análisis químico de superficies - Espectrometría de emisión óptica de descarga luminiscente (GD-OES) - Introducción al uso