ASTM D7980-15
Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores

Estándar No.

ASTM D7980-15

Fecha de publicación

2015

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Estado

Remplazado por

ASTM D7980-15(2023)

Ultima versión

ASTM D7980-15(2023)

Alcance

4.1 Esta guía está destinada a ayudar a los analistas de la industria de los semiconductores. Ejemplos de la utilidad del monitoreo de aniones incluyen: (1) determinar cuándo es necesario regenerar los lechos de resina de intercambio iónico (en sistemas de purificación de agua) y (2) garantizar que los niveles de aniones sean lo suficientemente bajos como para permitir que el agua se utilice para la fabricación de dispositivos semiconductores. 4.2 Para garantizar que los aniones se encuentren efectivamente en niveles bajos de ppt, se recomienda verificar la conductividad de una submuestra antes de continuar con la Sección 5 de esta guía. No es necesario que esta verificación sea exacta; su propósito es simplemente informar al analista si la conductividad es mayor que la de la solución estándar de más alto nivel que se está probando. Cualquier lectura alta significa que la muestra, si se analiza, podría contaminar el instrumento. 1.1 Esta guía se aplica al agua ultrapura que se cree que contiene niveles bajos de ppt (partes por billón, peso/peso) de contaminantes aniónicos (por ejemplo, bromuro, cloruro, fluoruro, nitrato, nitrito, fosfato). , y sulfato). Para minimizar los problemas de arrastre entre análisis, es mejor limitar la concentración de cualquier contaminante a aproximadamente 200 ppt (aunque este límite es sólo una aproximación y puede variar según la aplicación del usuario). 1.2 Esta guía tiene como objetivo ayudar a los analistas a evitar la contaminación de muestras de agua ultrapura, ya que el control de la contaminación es el principal desafío al cuantificar aniones a nivel de ppt en muestras aleatorias. 1.3 Esta guía no incluye recomendaciones para recolectar muestras de la fuente de agua. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM D7980-15 Documento de referencia

• ASTM D1129 Terminología estándar relacionada con el agua
• ASTM D5127 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores

ASTM D7980-15 Historia

• 2023 ASTM D7980-15(2023) Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores
• 2015 ASTM D7980-15 Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores