ASTM D7980-15(2023) Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Esta guía se aplica al agua ultrapura que se cree que contiene niveles bajos de ppt (partes por billón, peso/peso) de contaminantes aniónicos (por ejemplo, bromuro, cloruro, fluoruro, nitrato, nitrito, fosfato y sulfato). Para minimizar los problemas de arrastre entre análisis, es mejor limitar la concentración de cualquier contaminante a aproximadamente 200 ppt (aunque este límite es sólo una aproximación y puede variar dependiendo de la aplicación del usuario). 1.2 Esta guía tiene como objetivo ayudar a los analistas a evitar la contaminación de muestras de agua ultrapura, ya que el control de la contaminación es el principal desafío al cuantificar aniones a nivel de ppt en muestras aleatorias. 1.3 Esta guía no incluye recomendaciones para recolectar muestras de la fuente de agua. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad, salud y medio ambiente y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. 1.5 Esta norma internacional fue desarrollada de acuerdo con los principios internacionalmente reconocidos sobre estandarización establecidos en la Decisión sobre Principios para el Desarrollo de Normas, Guías y Recomendaciones Internacionales emitida por el Comité de Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC) de la Organización Mundial del Comercio.

ASTM D7980-15(2023) Documento de referencia

ASTM D1129 Terminología estándar relacionada con el agua
ASTM D5127 Guía estándar para agua ultrapura utilizada en la industria electrónica y de semiconductores

2023 ASTM D7980-15(2023) Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores
2015 ASTM D7980-15 Guía estándar para el análisis cromatográfico iónico de aniones en muestras aleatorias de agua ultrapura (UPW) en la industria de semiconductores