Esta norma especifica un método para probar la resistividad de películas finas de cerámica mediante el método de cuatro sondas. El rango de resistividad aplicable es de 1×10-5 Ωcm a 2×102 Ωcm, y el espesor de la película es de 500 μm o menos.
KS L 1619-2013 Historia
0000 KS L 1619-2013(2018)
2013KS L 1619-2013 Métodos de prueba para la resistividad de películas delgadas cerámicas conductoras con una matriz de sondas de cuatro puntos
2003KS L 1619-2003 Métodos de prueba para medir la resistividad de películas delgadas cerámicas eléctricamente conductoras con el método de sonda de cuatro puntos