ISO 13095:2014 Análisis químico de superficies - Microscopía de fuerza atómica - Procedimiento para la caracterización in situ del perfil del vástago de la sonda AFM utilizado para la medición de nanoestructuras normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica dos métodos para caracterizar la forma de la punta de una sonda AFM, específicamente el vástago y los perfiles aproximados de la punta. Estos métodos proyectan el perfil de la punta de una sonda AFM en un plano determinado, y las características del vástago de la sonda también se proyectan en ese plano en condiciones operativas definidas. Esto último indica la utilidad de una determinada sonda para mediciones de profundidad en zanjas estrechas y perfiles similares. Esta norma internacional es aplicable a sondas con radios superiores a 50, donde uo es la incertidumbre del ancho de la estructura de cresta en la muestra de referencia utilizada para caracterizar la sonda.

ISO 13095:2014 Documento de referencia

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2014 ISO 13095:2014 Análisis químico de superficies - Microscopía de fuerza atómica - Procedimiento para la caracterización in situ del perfil del vástago de la sonda AFM utilizado para la medición de nanoestructuras