ISO 11039:2012 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Medición de la tasa de deriva normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional define términos y especifica métodos de medición para caracterizar las tasas de deriva de los instrumentos de microscopía de sonda de barrido (SPM) en las direcciones X e Y y, para los instrumentos SPM que miden topografía, la tasa de deriva en la dirección Z. Aunque el comportamiento de la tasa de deriva a largo plazo puede ser no lineal, tanto eso como el comportamiento de la tasa de deriva a corto plazo después de un tiempo de asentamiento definido por el usuario pueden caracterizarse por tasas de deriva promedio típicas o máximas típicas. Esta norma internacional es adecuada para evaluar la tasa de deriva basada en imágenes SPM. Su objetivo es ayudar a los fabricantes a citar cifras de deriva en las especificaciones de manera significativa y consistente y ayudar a los usuarios a caracterizar el comportamiento de la deriva para que se puedan diseñar experimentos efectivos. Estas medidas no están diseñadas para la corrección de imágenes.

ISO 11039:2012 Documento de referencia

ISO 18115-2 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.*， 2021-12-21 Actualizar

2012 ISO 11039:2012 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Medición de la tasa de deriva