ISO 11952:2014
Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición

Estándar No.

ISO 11952:2014

Fecha de publicación

2014

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Estado

Remplazado por

ISO 11952:2019

Ultima versión

ISO 11952:2019

Alcance

Esta norma internacional especifica métodos para caracterizar y calibrar los ejes de escaneo de microscopios de sonda de barrido para medir cantidades geométricas al más alto nivel. Es aplicable a aquellos que proporcionan calibraciones adicionales y no está diseñado para uso en la industria general, donde podría requerirse un nivel más bajo de calibración. Esta norma internacional tiene los siguientes objetivos: 　——aumentar la comparabilidad de las mediciones de cantidades geométricas realizadas utilizando microscopios de sonda de barrido mediante la trazabilidad a la unidad de longitud; 　——definir los requisitos mínimos para el proceso de calibración y las condiciones de aceptación; 　——determinar la capacidad del instrumento para ser calibrado (asignación de una categoría de “capacidad de calibrar” al instrumento); 　——definir el alcance de la calibración (condiciones de medición y entornos, rangos de medición, estabilidad temporal, transferibilidad); 　——proporcionar un modelo, de conformidad con la Guía ISO/IEC 98-3, para calcular la incertidumbre de cantidades geométricas simples en mediciones utilizando un microscopio de sonda de barrido; 　——definir los requisitos para la comunicación de resultados.

ISO 11952:2014 Documento de referencia

• IEC/TS 62622:2012 Rejillas artificiales utilizadas en nanotecnología. Descripción y medición de parámetros de calidad dimensional.
• ISO 11039:2012 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Medición de la tasa de deriva
• ISO 12179:2000 Especificaciones geométricas de productos (GPS) - Textura de la superficie: Método del perfil - Calibración de instrumentos de contacto (stylus)
• ISO 12853:1997 Óptica e instrumentos ópticos - Microscopios - Información proporcionada al usuario
• ISO 18115-2:2013 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.
• ISO 3274:1996 Especificaciones geométricas de productos (GPS) - Textura de la superficie: método del perfil - Características nominales de los instrumentos de contacto (stylus)
• ISO 4287:1997 Especificación de producto geométrico (GPS) - Textura superficial: método del perfil - Términos, definiciones y parámetros de textura superficial
• ISO 4288:1996 Especificaciones Geométricas de Producto (GPS) - Textura superficial: Método del perfil - Reglas y procedimientos para la evaluación de la textura superficial
• ISO 5436-1:2000 Especificaciones Geométricas de Producto (GPS) - Textura de la superficie: Método del perfil; Estándares de medición - Parte 1: Medidas materiales
• ISO Guide 30:1992 Términos y definiciones utilizados en relación con materiales de referencia.
• ISO Guide 34:2009 Requisitos generales para la competencia de los productores de materiales de referencia.
• ISO/IEC Guide 98-3:2008 Incertidumbre de medición. Parte 3: Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995)

ISO 11952:2014 Historia

• 2019 ISO 11952:2019 Análisis químico de superficies. Microscopía de sonda de barrido. Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición.
• 2014 ISO 11952:2014 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición