ISO 11952:2019 Análisis químico de superficies. Microscopía de sonda de barrido. Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición. normas y especificaciones

Alcance: Este documento especifica métodos para caracterizar y calibrar los ejes de escaneo de microscopios de sonda de escaneo (SPM) para medir cantidades geométricas al más alto nivel. Es aplicable a aquellos que proporcionan calibraciones adicionales y no está diseñado para uso en la industria general, donde podría requerirse un nivel más bajo de calibración. Este documento tiene los siguientes objetivos: 　——aumentar la comparabilidad de las mediciones de cantidades geométricas realizadas utilizando SPM mediante la trazabilidad hasta la unidad de longitud; 　——definir los requisitos mínimos para el proceso de calibración y las condiciones de aceptación; 　——determinar la capacidad del instrumento para ser calibrado (asignación de una categoría de “capacidad de calibrar” al instrumento); 　——definir el alcance de la calibración (condiciones de medición y entornos, rangos de medición, estabilidad temporal, transferibilidad); 　——proporcionar un modelo, de conformidad con la Guía ISO/IEC 98-3, para calcular la incertidumbre de cantidades geométricas simples en mediciones utilizando un SPM; 　——definir los requisitos para la comunicación de resultados.

ISO 11952:2019 Documento de referencia

ISO 11039 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Medición de la tasa de deriva
ISO 18115-2 Análisis químico de superficies. Vocabulario. Parte 2: Términos utilizados en microscopía de sonda de barrido.*， 2021-12-21 Actualizar
ISO/IEC Guide 98-3 Incertidumbre de medición - Guía para la expresión de la incertidumbre en la medición (GUM:1995). Ampliación a cualquier número de cantidades de salida.

2019 ISO 11952:2019 Análisis químico de superficies. Microscopía de sonda de barrido. Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición.
2014 ISO 11952:2014 Análisis químico de superficies - Microscopía de sonda de barrido - Determinación de cantidades geométricas mediante SPM: calibración de sistemas de medición