ASTM E2245-11 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico normas y especificaciones

Alcance: Las mediciones de deformación residual son una ayuda en el diseño y fabricación de dispositivos MEMS. El valor de la deformación residual se utiliza en los cálculos del módulo de Young.1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir la deformación residual de compresión en películas delgadas. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes mediante un interferómetro. No se aceptan mediciones de haces fijos que tocan la capa subyacente. 1.2 Este método de prueba utiliza un interferómetro óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos tridimensionales. Se realiza en el laboratorio.1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E2245-11 Documento de referencia

ASTM E2244 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
ASTM E2246 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
ASTM E2444
ASTM E2530 Práctica estándar para calibrar el aumento Z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométrico utilizando pasos monoatómicos de Si(111)

2018 ASTM E2245-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2011 ASTM E2245-11e1 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2011 ASTM E2245-11 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2005 ASTM E2245-05 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2002 ASTM E2245-02 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico