ASTM E2245-02 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir la deformación residual de compresión en películas delgadas. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes mediante un interferómetro. No se aceptan mediciones de haces fijos que tocan la capa subyacente. 1.2 Este método de prueba utiliza un interferómetro óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos tridimensionales. Se realiza en el laboratorio.1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E2245-02 Historia
2018ASTM E2245-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2245-11e1 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2245-11 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2005ASTM E2245-05 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico
2002ASTM E2245-02 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico