ASTM E2530-06 Práctica estándar para calibrar el aumento Z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométrico utilizando pasos monoatómicos de Si(111) normas y especificaciones

Alcance: El uso cuidadoso de esta práctica puede producir aumentos z calibrados trazables a la unidad SI de longitud con incertidumbres (k = 2) de aproximadamente el 7 % en rangos de altura de aproximadamente 1 nm.1.1 Esta práctica cubre un procedimiento de medición para calibrar la escala z de un microscopio de fuerza atómica utilizando muestras de altura de paso monoatómico de Si (111). 1.2 Aplicaciones Este procedimiento es aplicable ya sea en condiciones ambientales o de vacío cuando el microscopio de fuerza atómica (AFM) se opera en sus niveles más altos de aumento z, es decir, en los rangos nanométricos y subnanómetros del desplazamiento z. Estos rangos de medición son necesarios cuando el AFM se utiliza para medir superficies de semiconductores, superficies ópticas y otros componentes de alta tecnología. 1.3 Los valores indicados en unidades SI deben considerarse como estándar. Los valores dados entre paréntesis son sólo para información. 1.4 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.

ASTM E2530-06 Historia

2006 ASTM E2530-06 Práctica estándar para calibrar el aumento Z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométrico utilizando pasos monoatómicos de Si(111)