ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente normas y especificaciones

Alcance: Esta norma internacional especifica un método de espectrometría de masas de iones secundarios para la determinación de la concentración atómica de boro en silicio monocristalino utilizando materiales dopados uniformemente calibrados mediante un material de referencia certificado implantado con boro. Este método es aplicable a boro dopado uniformemente en el rango de concentración de 1 × 1016 átomos/cm3 a 1 × 1020 átomos/cm3.

ISO 14237:2010 Documento de referencia

ISO 17560 Análisis químico de superficies. Espectrometría de masas de iones secundarios. Método para perfilar en profundidad el boro en silicio.*， 2014-09-10 Actualizar
ISO 18114 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones*， 2021-04-30 Actualizar

2010 ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
2000 ISO 14237:2000 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente