ISO 14237:2000
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente

Estándar No.

ISO 14237:2000

Fecha de publicación

2000

Organización

International Organization for Standardization (ISO)

Estado

Remplazado por

ISO 14237:2010

Ultima versión

ISO 14237:2010

Alcance

Esta norma internacional especifica un método de espectrometría de masas de iones secundarios para la determinación de la concentración atómica de boro en silicio monocristalino utilizando materiales dopados uniformemente calibrados por un material de referencia certificado implantado con boro. Este método es aplicable al boro dopado uniformemente en el rango de concentración de 1 × 10 átomos/cm a 1 × 10 átomos/cm.

ISO 14237:2000 Historia

• 2010 ISO 14237:2010 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente
• 2000 ISO 14237:2000 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de la concentración atómica de boro en silicio utilizando materiales dopados uniformemente