ISO 18114:2021
Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones
- Estándar No.
- ISO 18114:2021
- Fecha de publicación
- 2021
- Organización
- International Organization for Standardization (ISO)
- Ultima versión
- ISO 18114:2021
- Alcance
- Este documento especifica un método para determinar factores de sensibilidad relativa (RSF) para espectrometría de masas de iones secundarios (SIMS) a partir de materiales de referencia implantados con iones. El método es aplicable a muestras en las que la matriz tiene una composición química uniforme y en las que la concentración máxima de las especies implantadas no supera el uno por ciento atómico.
ISO 18114:2021 Historia
- 2021 ISO 18114:2021 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones
- 2003 ISO 18114:2003 Análisis químico de superficies - Espectrometría de masas de iones secundarios - Determinación de factores de sensibilidad relativa a partir de materiales de referencia implantados con iones
