Este método especifica un método para medir la resistividad de monocristales de silicio mediante el método de cuatro sondas en línea. Este método es adecuado para medir el espesor de la muestra y la distancia más corta desde el borde de la muestra hasta cualquier punto final de la sonda, los cuales son mayores que 4 veces el espaciado de la sonda para la resistividad del monocristal de silicio, y el diámetro de medición es mayor. de 10 veces el espaciado de la sonda, Resistividad de una sola oblea con un espesor inferior a 4 veces el paso de la sonda. El rango de resistividad del monocristal de silicio que se puede determinar mediante el método es 1×10Ω·cm~3×10Ω·cm.
GB/T 1551-2009 Historia
2021GB/T 1551-2021 Método de prueba para medir la resistividad del silicio monocristalino: método de sonda de cuatro puntos en línea y método de sonda de dos puntos de corriente continua
2009GB/T 1551-2009 Método de prueba para medir la resistividad del silicio monocristal.
GB/T 1551-2009 Método de prueba para medir la resistividad del silicio monocristal. ha sido cambiado a GB/T 1552-1995 Método de prueba para medir la resistividad de silicio monocristalino y germanio con una matriz colineal de cuatro sondas.