Esta norma internacional brinda orientación sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia apropiados de una o varias capas para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento en espectroscopia de electrones Auger, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y masa de iones secundarios. espectrometría. Esta norma internacional no pretende cubrir el uso de sistemas multicapa especiales como las capas dopadas delta.
BS ISO 14606:2000 Historia
2023BS ISO 14606:2022 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
2015BS ISO 14606:2015 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.