BS ISO 14606:2001 Análisis químico de superficies - Perfilado de profundidad de sputtering - Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia
Esta norma internacional brinda orientación sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia apropiados de una o varias capas para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento en espectroscopia de electrones Auger, espectroscopia de fotoelectrones de rayos X y masa de iones secundarios. espectrometría. Esta norma internacional no pretende cubrir el uso de sistemas multicapa especiales como las capas dopadas delta.
BS ISO 14606:2001 Historia
2023BS ISO 14606:2022 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
2015BS ISO 14606:2015 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.