BS ISO 14606:2022
Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
- Estándar No.
- BS ISO 14606:2022
- Fecha de publicación
- 2023
- Organización
- British Standards Institution (BSI)
- Ultima versión
- BS ISO 14606:2022
- Alcance
- 1 Alcance Este documento brinda orientación y requisitos sobre la optimización de los parámetros de perfilado de profundidad de pulverización catódica utilizando materiales de referencia adecuados de una o varias capas, para lograr una resolución de profundidad óptima en función de la configuración del instrumento en espectroscopia de electrones Auger y espectroscopia de fotoelectrones de rayos X. y espectrometría de masas de iones secundarios. Este documento no pretende cubrir el uso de sistemas multicapa especiales como las capas dopadas delta.
BS ISO 14606:2022 Historia
- 2023 BS ISO 14606:2022 Cambios rastreados. Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
- 2015 BS ISO 14606:2015 Análisis químico de superficies. Perfilado de profundidad de pulverización. Optimización utilizando sistemas en capas como materiales de referencia.
- 2001 BS ISO 14606:2000
