ASTM E2246-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico normas y especificaciones

Alcance: 1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir el gradiente de deformación en películas delgadas y reflectantes. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes utilizando un interferómetro óptico, también llamado microscopio interferométrico. No se aceptan medidas de voladizos que toquen la capa subyacente. 1.2 Este método de prueba utiliza un microscopio interferométrico óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos tridimensionales. Se realiza en el laboratorio. 1.3 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad, salud y medio ambiente y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. 1.4 Esta norma internacional fue desarrollada de acuerdo con los principios internacionalmente reconocidos sobre estandarización establecidos en la Decisión sobre Principios para el Desarrollo de Normas, Guías y Recomendaciones Internacionales emitida por el Comité de Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC) de la Organización Mundial del Comercio.

ASTM E2246-11(2018) Documento de referencia

ASTM E2244 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
ASTM E2245 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
ASTM E2444 *， 2023-10-29 Actualizar
ASTM E2530 Práctica estándar para calibrar el aumento Z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométrico utilizando pasos monoatómicos de Si(111)*， 2023-10-29 Actualizar

2018 ASTM E2246-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011 ASTM E2246-11e1 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011 ASTM E2246-11 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2005 ASTM E2246-05 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2002 ASTM E2246-02 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico