ASTM E2246-05 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
Los valores del gradiente de deformación son una ayuda en el diseño y fabricación de dispositivos MEMS.1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir el gradiente de deformación en películas delgadas y reflectantes. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes utilizando un interferómetro óptico. No se aceptan mediciones desde voladizos que toquen la capa subyacente. 1.2 Este método de prueba utiliza un interferómetro óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos tridimensionales. Se realiza en el laboratorio. Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E2246-05 Historia
2018ASTM E2246-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2246-11e1 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2246-11 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2005ASTM E2246-05 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2002ASTM E2246-02 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico