ASTM E2244-11(2018)
Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico

Estándar No.

ASTM E2244-11(2018)

Fecha de publicación

2018

Organización

American Society for Testing and Materials (ASTM)

Ultima versión

ASTM E2244-11(2018)

Alcance

1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir longitudes en el plano (incluidas las deflexiones) de películas delgadas estampadas. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes utilizando un interferómetro óptico, también llamado microscopio interferométrico. 1.2 Hay otras formas de determinar longitudes en el plano. El uso de las dimensiones de diseño generalmente proporciona valores de longitud en el plano más precisos que el uso de mediciones tomadas con un microscopio óptico interferométrico. (Las mediciones interferométricas suelen ser más precisas que las mediciones tomadas con un microscopio óptico). Este método de prueba está diseñado para usarse cuando se prefieren las mediciones interferométricas al uso de las dimensiones de diseño (por ejemplo, cuando se miden deflexiones en el plano y cuando se miden longitudes en un entorno no probado). proceso de fabricación). 1.3 Este método de prueba utiliza un microscopio interferométrico óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos tridimensionales. Se realiza en el laboratorio. 1.4 La longitud máxima en el plano medida está determinada por el campo de visión máximo del microscopio interferométrico con el aumento más bajo. La desviación mínima medida está determinada por la separación entre píxeles del microscopio interferométrico con el aumento más alto. 1.5 Esta norma no pretende abordar todos los problemas de seguridad, si los hay, asociados con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad, salud y medio ambiente y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso. 1.6 Esta norma internacional fue desarrollada de acuerdo con los principios internacionalmente reconocidos sobre estandarización establecidos en la Decisión sobre Principios para el Desarrollo de Normas, Guías y Recomendaciones Internacionales emitida por el Comité de Obstáculos Técnicos al Comercio (OTC) de la Organización Mundial del Comercio.

ASTM E2244-11(2018) Documento de referencia

• ASTM E2245 Método de prueba estándar para mediciones de deformación residual de películas delgadas y reflectantes utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
• ASTM E2246 Método de prueba estándar para mediciones del gradiente de deformación de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico*， 2023-10-29 Actualizar
• ASTM E2444 *， 2023-10-29 Actualizar
• ASTM E2530 Práctica estándar para calibrar el aumento Z de un microscopio de fuerza atómica a niveles de desplazamiento subnanométrico utilizando pasos monoatómicos de Si(111)*， 2023-10-29 Actualizar

ASTM E2244-11(2018) Historia

• 2018 ASTM E2244-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
• 2011 ASTM E2244-11e1 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
• 2011 ASTM E2244-11 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
• 2005 ASTM E2244-05 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
• 2002 ASTM E2244-02 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico