Las mediciones de longitud en el plano se utilizan en cálculos de parámetros, como la deformación residual y el módulo de Young. Se requieren mediciones de deflexión en el plano para estructuras de prueba específicas. Los parámetros, incluida la deformación residual, se calculan a partir de estas mediciones de deflexión en el plano.1.1 Este método de prueba cubre un procedimiento para medir longitudes en el plano (incluidas las deflexiones) de películas delgadas estampadas. Se aplica únicamente a películas, como las que se encuentran en materiales de sistemas microelectromecánicos (MEMS), de las que se pueden obtener imágenes utilizando un interferómetro óptico.1.2 Hay otras formas de determinar longitudes en el plano. El uso de las dimensiones de diseño generalmente proporciona valores de longitud en el plano más precisos que el uso de mediciones tomadas con un interferómetro óptico. (Las mediciones interferométricas suelen ser más precisas que las mediciones tomadas con un microscopio óptico). Este método de prueba está diseñado para usarse cuando se prefieren las mediciones interferométricas al uso de las dimensiones de diseño (por ejemplo, cuando se miden deflexiones en el plano y cuando se miden longitudes en un entorno no probado). proceso de fabricación).1.3 Este método de prueba utiliza un interferómetro óptico sin contacto con la capacidad de obtener conjuntos de datos topográficos 3-D. Se realiza en el laboratorio.1.4 La longitud máxima en el plano medida está determinada por el campo de visión máximo del interferómetro con el aumento más bajo. La deflexión mínima medida está determinada por el espaciado de píxel a píxel del interferómetro con el aumento más alto. Esta norma no pretende abordar todas las preocupaciones de seguridad, si las hay, asociadas con su uso. Es responsabilidad del usuario de esta norma establecer prácticas apropiadas de seguridad y salud y determinar la aplicabilidad de las limitaciones reglamentarias antes de su uso.
ASTM E2244-05 Historia
2018ASTM E2244-11(2018) Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2244-11e1 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2011ASTM E2244-11 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2005ASTM E2244-05 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico
2002ASTM E2244-02 Método de prueba estándar para mediciones de longitud en el plano de películas reflectantes delgadas utilizando un interferómetro óptico