ISO 14644-14:2016 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 14: Evaluación de la idoneidad para el uso de equipos según la concentración de partículas en el aire. normas y especificaciones

ISO 14644-14:2016 Documento de referencia

ISO 14644-1:2015 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 1: Clasificación de la limpieza del aire por concentración de partículas
ISO 14644-3:2005 Salas blancas y entornos controlados asociados - Parte 3: Métodos de prueba
ISO 14644-7:2004 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 7: Dispositivos de separación (campanas de aire limpio, cajas de guantes, aisladores y miniambientes)
ISO 14644-9:2012 Salas blancas y ambientes controlados asociados - Parte 9: Clasificación de la limpieza de superficies por concentración de partículas
ISO 8573-8:2004 Aire comprimido - Parte 8: Métodos de prueba para el contenido de partículas sólidas por concentración másica
JIS B 9926:1991 Sala limpia: métodos de prueba para la generación de polvo procedente de mecanismos en movimiento.
SEMI F70-0611
VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Tecnología de sala limpia: compatibilidad con la limpieza requerida y la limpieza de superficies

2016 ISO 14644-14:2016 Salas blancas y entornos controlados asociados. Parte 14: Evaluación de la idoneidad para el uso de equipos según la concentración de partículas en el aire.