VDI 2083 Blatt 9.1-2006
Tecnología de sala limpia: compatibilidad con la limpieza requerida y la limpieza de superficies

Estándar No.
VDI 2083 Blatt 9.1-2006
Fecha de publicación
2006
Organización
Association of German Mechanical Engineers
Estado
Remplazado por
VDI 2083 Blatt 9-1-2021
Ultima versión
VDI 2083 Blatt 9-1-2021
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VDI 2083 Blatt 4-1996 VDI 2083 Blatt 8-2002 VDI 2083 Blatt 9.1-2005
Alcance
Esta directriz VDI trata esencialmente de la contaminación por partículas. La contaminación química (molecular), biológica y radiológica de las superficies no es un tema específico de esta guía; Lo mismo se aplica a los medios de proceso. Esta guía proporciona definiciones de los términos compatibilidad con la limpieza requerida y compatibilidad con salas limpias y, basándose en estas definiciones, la clasificación y los procedimientos que sirven para establecer la idoneidad de los equipos y componentes de manejo de aire para su uso en entornos cuya limpieza del aire y otros parámetros se evalúan. de acuerdo con las normas técnicas (ver Figura 3). Además, describe las características electrostáticas y de desgasificación de equipos y componentes de manejo de aire asociados con ambientes controlados. La limpieza de las superficies y su clasificación también están dentro del alcance de esta directriz. La compatibilidad de un equipo con la limpieza requerida incluye todas las contaminaciones relevantes para el proceso. Las técnicas de medición descritas en esta guía, que sirven para evaluar la compatibilidad del equipo con la limpieza requerida, incluyen la compatibilidad con salas blancas, la limpieza de las partículas de la superficie y el comportamiento de desgasificación.

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Documento de referencia

  • DIN 50452-1:1995 Ensayos de materiales para tecnología de semiconductores. Método de ensayo para el análisis de partículas en líquidos. Parte 1: Determinación microscópica de partículas.
  • DIN 53804-2:1985 Interpretación estadística de datos; características contables (discretas)
  • DIN 55301:1978 Presentación de tablas estadísticas.
  • DIN EN 1081:1998 Revestimientos de suelos resilientes - Determinación de la resistencia eléctrica; Versión alemana EN 1081:1998
  • DIN EN 1335-1 Berichtigung 1:2002 Corrigenda según DIN EN 1335-1:2002 (EN 1335-1:2000/AC:2002)
  • DIN EN 1335-1:2002 Mobiliario de oficina - Silla de trabajo de oficina - Parte 1: Dimensiones; Determinación de dimensiones; Versión alemana EN 1335-1:2000
  • DIN EN 1335-2:2002 Mobiliario de oficina – Silla de trabajo de oficina – Parte 2: Requisitos de seguridad
  • DIN EN 1335-3:2002 Mobiliario de oficina – Silla de trabajo de oficina – Parte 3: Métodos de prueba de seguridad
  • DIN EN 13779:2005 Ventilación de edificios no residenciales: principios y requisitos generales para sistemas de ventilación y aire acondicionado.
  • DIN EN ISO 4287:1998 Especificaciones geométricas de productos (GPS) – Textura superficial: Método del perfil – Términos, definiciones y parámetros de textura superficial
  • DIN EN ISO 8785 Especificaciones geométricas de productos (GPS) - Imperfecciones superficiales - Términos, definiciones y parámetros (ISO 8785:1998); Versión alemana EN ISO 8785:1999

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Historia

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Tecnología de sala limpia: compatibilidad con la limpieza requerida y la limpieza de superficies ha sido cambiado a VDI 2083 Blatt 4-1996 Reinraumtechnik - Oberflaechenreinheit.

VDI 2083 Blatt 9.1-2006 Tecnología de sala limpia: compatibilidad con la limpieza requerida y la limpieza de superficies ha sido cambiado a VDI 2083 Blatt 8-2002 Tecnología de salas blancas: idoneidad de los materiales operativos para salas blancas.



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